Ученые из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс для создания наноструктур, необходимых для работы микроэлектронного оборудования. Об этом сообщает РИА Новости со ссылкой на Минобрнауки России.
Этот комплекс состоит из двух частей. Первая часть представляет собой промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Вторая часть — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния.
Первый этап для создания наноструктур — процесс литографии (получение изображения на подложке), который обычно осуществляется на зарубежном оборудовании. Этот процесс требует много времени и больших финансовых затрат. Петербургские ученые предложили альтернативу — использовать технологию безмасочной нанолитографии. Это получение изображения на подложке без использования шаблона (маски).
Такая отечественная установка будет стоить около 5 миллионов рублей в отличие от 10-13 миллиардов рублей за иностранную, говорят ученые.
Для работы прибора ученые создали специальное программное обеспечение, которое полностью автоматизирует процесс. Сейчас они дополняют софт системой обратной связи, чтобы уменьшить влияние человеческого фактора при эксплуатации устройства.
Вторым этапом для создания наноструктур является процесс плазмохимического травления по рисунку, сформированному на первом этапе. Этот процесс позволяет создавать наноструктуры с помощью химических реакций в плазме. На этой же установке можно также производить кремниевые мембраны, которые могут использоваться в судовых датчиках избыточного давления.
По словам ученых, созданные на установке плазмохимического травления мембраны превосходят по надежности и чувствительности изготовленные методами жидкостного или лазерного травления.
Использование безмасочной нанолитографии с плазмохимическим травлением позволяет решать задачи в различных областях. Например, в радиолокационном оборудовании это может увеличить срок службы приборов более чем в 20 раз. Технология также применима в производстве солнечных панелей, где она способствует уменьшению их веса и габаритов, а также позволяет им работать в пасмурную погоду с сохранением высокой эффективности преобразования энергии.
Специалисты планируют внедрить машинное обучение на обе установки, а также продолжить создание технологий и для силовой электроники.
Ранее исследователи из Пермского Политеха рассказали о различных артефактах, присутствующих в мире «Властелина колец», и нашли аналоги этих предметов в реальном мире.
