Холдинг «Росэлектроника» (принадлежит «Ростеху») разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов. Они применяются при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Об этом сообщила пресс-служба госкорпорации.
Речь идет о промышленном производстве таких газов, как:
- моносилан;
- арсин;
- фосфин;
- аммиак;
- бор трехфтористый;
- бор треххлористый.
Все они востребованы на рынке микроэлектроники. При этом ранее для работы с ними приходилось использовать импортные материалы.
Зачем нужны высокочистые газы
«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных — фтор, трехфтористый азот или бор», — комментирует исполнительный директор «Ростеха» Олег Евтушенко.
По словам эксперта, арсин и фосфин, например, помогают изменять проводимость материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. А моносилан применяют в ходе производства подложек и технологических слоев микросхем.
Отечественные разработки
Чтобы сохранить все важные характеристики газов при их транспортировке и хранении на предприятии, специалисты предложили использовать баллоны, прошедшие особую подготовку. Что именно с ними делают, неизвестно, но пресс-служба «Ростеха» сообщает, что решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления — не менее 12 месяцев. Разные баллоны подходят для хранения разных газов.
«В настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», — заключает генеральный директор НПП «Салют» (в составе «Росэлектроники») Александр Бушуев.
Ранее журнал Time назвал лучшие изобретения и гаджеты 2022 года. Смотрите на самые интересные из них в нашей подборке:
