Сотрудники Центра наноструктурированных материалов использовали для создания «микроспиннера» метод безмасочной литографии. Он основан на применении фоторезиста — вещества, затвердевающего под действием света.
Чтобы превратить фоторезист в конечное изделие, в аппарат загружается разбитая на слои объемная модель и подложка с фоторезистом. После этого лазерный луч начинает проходить в плоскости слоя и в месте фокусировки луча фоторезист затвердевает. Затем процедура повторяется для каждого слоя, и в конце оставшийся фоторезист удаляется, оставляя только полученный твердый полимер нужной формы.
Обычно этот метод применяется для создания микрофлюидных каналов или микромеханических устройств, но исследователи из Окриджа решили использовать его не только для научных исследований, но и для развлечения и демонстрации своих возможностей, и напечатали таким методом миниатюрный фиджет-спиннер.
Исследователи продемонстрировали, что создали не просто миниатюрную модель, а полноценное механическое устройство. Они поместили его на предметный столик оптического микроскопа и раскрутили, направив на него струю воздуха из компрессора.
Различные техники литографии используются и для гораздо более серьезных устройств.
Например, недавно инженеры из США и Австралии создали с помощью фотолитографии атомно-силовой микроскоп, полностью умещающийся на небольшом чипе. О том, какими бывают и как производятся микроэлектромеханические устройства, можно прочитать в нашем материале «Когда меньше — лучше».
Григорий Копиев
